科技最巔峰 第128章 接近式曝光光刻機

    測試廣告1「呸！」小芳作勢吐了一下，結果什麼也沒有吐出來：「按照年齡我當你姑奶奶都可以了，乖乖，叫一聲讓我聽聽！」

    「好了好了，我們接下來繼續吧。文師閣 m.wenshige.com」王昊天不敢在年紀上大做文章，如果真的算的話，就算喊王小芳姑奶奶也是王昊天占了便宜了……

    聽起來氣不氣人！

    誰讓人家王小芳活著時間久呢！

    喊姑奶奶是不可能的，一輩子都不可能的！

    這是王昊天最後的倔強！

    「哼哼，按操作的簡便性光刻機也是分為三個層次的，手動、半自動、全自動！」

    「這裡邊手動的精準度是最低的，你想想嘛用手調節機器精準度能有多高啦，就算這台儀器要求僅僅是45納米的，我也必須儘可能地提升這台儀器的精準度！」

    「所以我選擇的是全自動的，中間完全由程序控制，精準度控制在最小的範圍之內。」

    「由於我的原因，這台光刻機的精密機械工藝已經到達了近乎完美的地步了。」小芳自豪地說道。

    王昊天趕緊陪著著豎了一個大拇指：「我家小芳棒棒噠……」

    「哼哼，因為精密機械工藝高，這就使得對準系統非常高，但是想要提高對準系統的精準度，僅僅需要高精密的機械工藝還是不行的，還需要好的對準顯微鏡！」

    「為了提高顯微鏡的市場，我專門選擇的是LED光照，效果更好！」

    「顯微鏡的鏡片也是經過我多重打磨，表面非常平整，至於到了什麼地步了呢，我給你打個比方你就知道了，如果把我製作的鏡片放大到三十萬平方公里這麼大，整塊的鏡片表面的平整誤差不會超過一米的，你可以想想這個是什麼概念！」

    聽後王昊天沉默了。

    自己國家差不多就是963萬平方公里，差不多一個大國土地的百分之三了……

    不敢想像！

    看見王昊天沉默了，王小芳更加得意了：「這算什麼？？？」

    「這還是DUV光刻機呢，要是換做了EUV光刻機，那要求更高，如果把我製作的鏡片放大到三十萬平方公里這麼大，整塊的鏡片表面的平整誤差不會超過一厘米！」

    「一厘米……」王昊天喃喃地說道。

    「以你們這個星球的水平能做到這種程度的也就僅僅德意志國家的蔡司公司能做到罷了。」王小芳已經不是一個一個國家的貶低了，現在直接開口你們星球，你們星球了……

    赤果果的歧視啦。

    「對於顯微鏡，我這邊一共安裝了兩套，就是為了提高精準度！」

    「至於工作檯，光刻機可以說有三個工作檯，一個工作檯是放置掩膜的，一個工作檯是放置塗有光刻膠的矽圓片的，另一個工作檯就是放置成品的，也是放置矽片，也就是檢測台，為了檢測晶片的性能！」

    「相比較而言，前兩個工作檯在整個生產晶片的環節之中占有非常重要的位置！」

    「就是這兩個平台可以分為兩種，一種是相對靜止，這種的需要在掩膜上刻下所有的晶片線路圖，在光束照耀下光刻膠上就會刻下線路圖，不過這樣有一個缺點，那就是受光面積太大，使得光比較分散，影響成品率。」

    「另一種就是兩個平台相對運動，光束隨著掩膜平台運動，這樣使得光束聚光好，形成了線路圖效果好，成品率高，但是……對機械精密度要求極高！」

    「以我們的DUV光刻機，誤差能做到10納米，這已經夠用了，要是EUV光刻機，那就要求高了，誤差必須在2納米以下，而且兩個工作檯的加速度必須達到炮彈發射時的加速度，此外對溫度變化也有過分到變態的要求，溫度上下浮動不能超過千分之一！」

    「我們這一台DUV光刻機選擇的是兩個平台相對運動的，這樣精度更高！」

    「至於掩膜和矽圓片的相對位置進行曝光也可以分為以下三大種。」

    「分別是接觸式曝光、接近式曝光、投影式曝光！」

    「當然了，最好的是投影式曝光，不過我們現在的光刻機根本就沒有必要採用投影式曝光，我們選擇的是接近式曝光就可以了，滿足我們的使用要求。」

    「至於接觸式曝光，那也可以分為三小種的，一種是軟接觸，一種是硬接觸，最後一種是真空接觸！」

    「不管名字怎麼起，但終究是接觸式曝光，這種曝光有一個缺點，那就是掩膜和塗有光刻膠的矽圓片相互接觸，這非常容易對掩膜造成傷害，使得掩膜板的壽命大大降低，所以就算在你們星球上這種接觸式曝光已經漸漸被淘汰了。」

    說道這裡王小芳看了一眼王昊天：「你們國家現在能自主生產的光刻機統統是接觸式曝光。」

    王昊天：「……」

    「我本來打算選用投影式曝光的，不過想想還是算了，你不是想要提升你們國家的製造水平嘛，我如果用了投影式曝光，將來你們國家其他人研究起來那還不得抓瞎啊，所以我選擇了接近式曝光，這樣你們也有頭緒，研究起來不會感到絕望！」

    王小芳的意思很明確，那就是現在剛剛學會走路，不要著急跑，要先走穩了再說跑的事情，一步一步來。

    「至於接近式曝光……如名字一樣，就是掩膜板和塗有光刻膠的矽晶圓片之間有一個小間隙，至於多大呢，大約的範圍是200um已下，當然了肉眼是看不見的。」

    「至於投影式曝光呢，那就複雜了，不過可以給你簡單的講解一下，分為掃描投影曝光、步進重複投影曝光、掃描步進投影曝光」

    「要求都非常高，就算是我以現在的條件想要製造出來EUV光刻機也是需要花費很長的時間的，也幸虧你要求我製造的是DUV光刻機，而且還是45納米的，難度下降了不止一個檔次。」

    這一次王小芳終於說了實話了。

    「總而言之，製造出一台光刻機的精密度很大程度上反應出來了一個國家的工業水平，不說別的，就算我製造的這一台光刻機吧，它就包含著10個分系統，兩萬多個機械件以及180個傳感器，而且這上邊所有的零件不能出現一個問題，只要有一個出現問題，整台機器就不能夠使用了。」

    「真的是牽一髮而動全身啊。」測試廣告2