重生之工業大亨 第120章:干法蝕刻

    總算是給政府解釋清楚了，不管他們到底相不相信，起碼不會立馬圖窮匕現了，這是他最擔心的。說實話在九幾年的中國，最多的錢，也不能保證完全安全。政府還是專政機關，外資企業要好點，畢竟他們受自已國家的法律保護，一般的父母官不敢亂來。

    從市委朱書記那裡告辭，回到公司後，沈丹青嚇得出了一身冷汗，幸虧他說服了朱書記，否則長勝投資集團就有可能止戈成沙了，這可不是開玩笑。當然啦！也幸虧這件事上了中央新聞，有可能被高層領導關注了。政府可能也有這方面的顧慮，總之這件事情算是過去了。

    這件事情過後，長勝投資集團總算是過了一個坎。沈丹青也更加希望能快點將總公司搬去長沙，於是他更加頻繁地向王全福了解長沙工業園的籌備情況。

    王全福真是哭笑不得，才剛開始派人去，能有多大的進展，他們第一期選址都還沒開始呢？因此他只好親自上來，耐心地跟老闆解釋：「老闆，他們還在考察地形，，總得做一個全局的規劃，否則以後會顧此失彼。」

    「好吧！是我心急了，你讓他們仔細地規劃吧！有了結果再告訴我。」沈丹青承認自己心急了，正所謂關心則亂，得好好冷靜冷靜了，他在心裡對自已說。

    「好的，老闆。我有消息會第一時間告訴你的。如果沒什麼事，我就告辭了，公司還有一大攤子事等我處理呢！」王全福不敢說老闆是亂彈琴，只是說自已很忙，言下之意就是告訴老闆，不要下亂命令，耽誤別人的正事。

    「嗯！你回去吧！」沈丹青輕輕的揮了揮手，意興珊闌的說道。

    時間是一記很好的撫慰劑，任何壞事在它的沖刷下都會慢慢的失去威力，直至被人民淡忘。不知不覺又過了一個多月。在這段時間裡，長勝投資集團旗下各企業集團和單位卻都發展順利。

    首先是機械技術研究院和長勝精工，研製成功了晶片封裝設備。這套設備與國外的同類設備有一點點不同，他不是採用什麼傳帶式的流水線。而是釆用他們熟悉的軌道直線電機，上面安裝自動機械臂的輸送方式，等於是初級的智能機器人。自動機械臂上安裝有真空吸盤，盛放矽晶圓的托盤就被牢固的吸附在吸盤上。整個輸送過程，都不需要直接接觸晶片，未封裝的晶片是非常脆弱的，稍有不注意，就會造成機械損傷，甚至是報廢。另外，他們這套設備效率非常高，是完全的自動化，不需要人工參與，因此能保證廠房裡面的灰塵降到最低。整個廠房幾乎是密封的，沒有人員進入，灰塵當然就少了。

    物理研究所的胡所長領導的離子注入機事業部，也傳來了喜訊。他們終於研製出了正式的離子注入機設備。能給沈丹青報來喜訊，當然已經是非常成熟的設備了。他們還算是運氣好，幸好物理研究所有現成的質量分析器和離子加速器，這兩樣科研設備。否則如果讓他們從新研究，就不知道要研究到什麼時候了。他們也算是踩在巨人的臂膀上成功的。

    到了此時，就只剩自動檢測程序沒有完成了。沈丹青特意找盧汝成了解了一下，得知他們的任務非常困難，非短時間所能解決。於是他做出了一個決定，讓這套晶片生產設備開始試製晶片，有什麼問題儘量在生產中發現。用財力促進加速晶片技術的發展。前期的問題肯定很多，這些都是自動檢測程序的寶貴的資料。

    沒有自動檢測程序，需要人工檢測，晶片生產速度當然非常慢。就像木桶理論所說的一樣，整個生產速度只能以人工檢測的速度為基準了。不過沈丹青不會在意，對長勝投資集團來說，能用錢解決的問題都不是問題。

    用納米級晶片製造設備來製造十六位元晶片，難度當然很低了，初次製造，合格率就非常高，達到了53%，不合格的晶片，不是工藝問題，而是化學蝕刻的原因。他們研究的這套化學蝕刻設備太過簡單了，還缺少許多先進技術。他們釆用的是原始的自然蝕刻技術，因此造成的蝕邊非常明顯。化學蝕刻就是用化學藥劑，溶解沒有光刻膠保護的矽晶圓或銅互聯層。如果任由它自然蝕刻，就會造成蝕邊。也就是腐蝕了不需要蝕刻的電晶體和銅聯接線的邊。他們因為是第一次研製化學蝕刻設備，沒有經驗，以為只是一個純粹的化學反應。造出來的蝕刻設備是最原始的設備，以前4位元晶片的時候，人們就是使用這種技術。到如今當然已經不適用了。

    得到了化學蝕刻出現問題之後，沈丹青非常重視，他立刻召集了相關科研單位商討對策。

    說實話，他們是第一次見到這個問題。用化學方法蝕刻這麼微小的圖形，本來就很神奇。現在卻說這種方法不行，要另想辦法。這可真的難住他們了，他們一時也沒有了好辦法。最後還是沈丹青記起了前世的一些書上講過，蝕刻分為濕法蝕刻和干法蝕刻。因此對他們說：「試試干法蝕刻，或許要好許多。」

    「老闆，什麼是干法蝕刻？你能祥細的告訴我們嗎？」化學研究所的所長王波就站出來問他。沒辦法誰讓化學蝕刻技術是化學研究所的主要責任呢？

    「先聲明啊！我不懂具體原理。我只知道在一定的氣壓壓力下，電漿離子與氧化矽或銅起反應或高速撞擊，使之同樣氣態電離化，然後用抽氣機抽走。又進行同樣的步驟，直至蝕刻出我們需要的圖形。這種方法能減少侵蝕，得到比較陡邊的圖形。應該來說會比濕法蝕刻好得多，也精密得多。不管怎麼樣！大家先試試看吧！」沈丹青將他所知道的隻言片語講了出來，具體的技術和方法就要他們去研究了。

    「老闆，具體點，是哪幾種電漿，你知道嗎？」王波以希翼的語氣問他。他自己也知道老闆可能不知道，所以才用這樣的語氣請問他。

    「我怎麼知道？我又不是科學家，我只不過是看到書上提到了幾句，具體的原理和方法，還要你們自己去實驗，我是幫不了的。」果然不出王波所料，老闆不知道。而且他還講的理直氣壯，也不知道他是從哪本書上看到的。要知道他們這些專業的科學家都不知道，也真是怪了。老闆經常神神秘秘的，好多的先進技術，都是從他的嘴裡講出來的，雖然只有皮毛，但是起碼有了方向，不再是一無所知。

    「大家聽我說，剛才老闆己經為我們指明了方向，我們就以這個方向為突破口。我剛才大體考慮了一下，覺得非常可行。許多技術，我們在研製離子注入機的時候己經掌握了。這種新方法，無非是在離子注入機技術的基礎上加上了化學反應。而未知的游離電漿，我也有了初步的預判。我們只研究與氧化矽和銅起反應的兩種電漿。其它的蝕刻，還是釆用濕法蝕刻，不會影響成品率。那麼這兩種電漿就是我們化學研究所的任務了。其它的機體部分，還是和離子注入機差不多。我們先試著干吧！……」

    王波主動的站出來發言，話還沒講完，就被沈丹青打斷了：「很好，剛才王所長的講話非常有見地。我現在任命王所長為這次干法蝕刻設備研發的事業部部長。其他人都要聽從他的指揮，他還可以從整個公司調配人力和資源。為了提高你們的急極性，我提早告訴你們一個好消息。」

    沈丹青的話沒講完，在場的人的心思就紛紛蠢蠢欲動了。老闆嘴裡說出的好消息，那一定錯不了。

    大家的舉動，沈丹青都看在眼裡。他不僅沒有氣惱大家打斷他的話，反而非常高興的接著說：「只要這套晶片生產設備，研發成功。具備一定的精確度和良品率，我們就會去長沙設立第一家晶片製造工廠。工廠正式投產之後，所有參與研發晶片製造設備的工作人員，你們的欠款，全部一筆勾銷。怎麼樣？這個獎勵大家滿意嗎？」

    整個會場，一時失聲。大家都太震驚了，不敢想像老闆既然能給這麼重的獎勵。要知道，參與研發人員，至少都是工程師級別的技術員。級別高了，他們欠公司的錢也就更多，少的也欠了上百萬，多的欠了幾百萬，比如各研究所的所長。這次獎勵，比他們這幾年工作所得的工資和獎金還要多，能不讓他們興奮嗎？「哦！」會場響起了一片歡呼聲，老闆的獎勵太給力了，他們一時控制不住自已興奮的情緒，沒有任何人例外。

    沈丹青看著會場上的人員的反應，滿意地點了點頭，他要的就是這種效果，只有不斷激勵大家，他們才能給他更大的回報。這點錢算什麼，後世納米級別的晶片製造設備，沒有幾十億你想都別想，單位還是美金。中國人想買，他們還不會賣給你。現在長勝集團自已研發了全套技術，先不管先進與否，只要有了，以後就可以不斷改進。能與歐美並駕齊驅，這種感覺就像毒品一樣，令沈丹青深深的迷醉。

    未完待續……